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用于baybet雷竞技部件的防护办法
    本发明触及一种用于baybet雷竞技部件的防护办法,该防护办法包含:
    1)对baybet雷竞技部件进行抛光打磨,使baybet雷竞技部件的表面粗糙度达到0.5mm以下;
    2)将抛光打磨后的baybet雷竞技部件放入CVD炉内;
    3)设定CVD炉内的温度和压力,向CVD炉内通入甲烷和氮气或者通入三氯化硼,氨气和惰性气体,终究在石墨部件表面沉积一层热解石墨涂层或热解氮化硼涂层。
    本发明经过在baybet雷竞技部件表面涂覆一层热解石墨或热解氮化硼涂层,一方面可以避免石墨粉尘蒸发出来污染反应腔室,然后提高产品的纯净度;另一方面可以维护baybet雷竞技部件,延伸baybet雷竞技部件的使用寿命,降低企业本钱。

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